京仪主动化申请集成式废气经管设置及体系专im电竞利擢升废气经管效力

　　金融界2024年10月30日音书，国度学问产权局讯息显示，北京京仪自愿化设备身手股份有限公司申请一项名为“一种EPI工艺的集成式废气处置摆设及编造”的专利，公然号 CN 118831412 A，申请日期为2024年7月。

　　专利摘要显示，本申请涉及一种EPI工艺的集成式废气处置摆设及编造。该摆设包含第一真空泵、第一把握阀、第一前级管道、第一废气处置器废气设备、第一备用管道以登第一把握器。该第一把握阀包含输入端、第一输出端和第二输出端。第一真空泵相连废气爆发摆设im电竞。第一把握阀的输入端与第一真空泵相连im电竞。第一前级管道一端相连第一输出端，第一前级管道的另一端相连第一废气处置器。第一废气处置器处置经第一前级管道传输的废气。第一备用管道与第二输出端相连。第一把握器检测第一废气处置器与第一真空泵的状况。正在第一废气处置器处于毛病状况，且第一真空泵处于平常状况情形下把握第一废气处置器停顿运转，并把握输入端与第一输出端截止，以及把握输入端与第二输出端连通。

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