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京仪配备取得适用新型专利授权:“等离子废气打im电竞点组件及半导体废气打点建设”

作者:小编时间:2024-05-25 00:03 次浏览

信息摘要:

 证券之星音问,遵照企查查数据显示京仪配备(688652)新得到一项适用新型专利授权,专利名为“等离子废气惩罚组件及半导体废气惩罚兴办”im电竞,专利申请号为CN0.5,授权日为2024年5月3日。  专利摘要:本申请涉及半导体废气惩罚本事界限,供给一种等离子废气惩罚组件及半导体废气惩罚兴办。等离子废气惩罚组件,席卷阴极,阴极处设有钨极;阳极,与阴极相对修树,阳极和阴极之间酿成有电离空间;第一氮...

  证券之星音问,遵照企查查数据显示京仪配备(688652)新得到一项适用新型专利授权,专利名为“等离子废气惩罚组件及半导体废气惩罚兴办”im电竞,专利申请号为CN0.5,授权日为2024年5月3日。

  专利摘要:本申请涉及半导体废气惩罚本事界限,供给一种等离子废气惩罚组件及半导体废气惩罚兴办。等离子废气惩罚组件,席卷阴极,阴极处设有钨极;阳极,与阴极相对修树,阳极和阴极之间酿成有电离空间;第一氮气输送件,设于阴极一侧,第一氮气输送件设有间隔平均的多个第一出气口,多个第一出气口均朝向电离空间,以使得第一氮气输送件可将氮气平均的输送到电离空间处。遵照本申请奉行例的等离子废气惩罚组件,达成了将氮气平均的输送到电离空间处,包管了氮气平均分散,氮气能够正在阴极和阳极之间填塞电离,确保了等离子体电离不发作偏离,使得钨极表观的损耗划痕分散平均,延伸了钨极的应用寿命im电竞。

  本年往后京仪配备新得到专利授权23个,较客岁同期删除了8%im电竞。连接公司2023年年报财政数据,2023年公司正在研发方面进入了6151.18万元,同比增27.07%。

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